第1165章 工作台成!纳米级稳跑 (第2/2页)
他直接翻到了核心原理结构和最终的预估指标页。
“磁场……力控……无接触……耦合……补偿……”
袁涛的手指划过图纸上复杂无比、却散发着一种颠覆性美感的磁路结构图,眼睛越瞪越大。
“金属波纹管……夹层非晶态阻尼……超微梯度填充……”
他的目光又滑向另一份图纸上那前所未见的复合密封结构方案。
最终,他的目光定格在图纸末尾那两个用红笔圈注的、闪耀着金属般光泽的关键指标数字上。
——轴承系统动态重复定位误差。
≤2.8nm!
——密封系统真空泄漏率模拟值。
≤5.0×10^-10Pa·m^3/s!
这两个数据,如同两道狂暴的闪电,狠狠劈进了袁涛的大脑!
“2.8纳米?10年?!”
他的声音尖锐到变了调,眼珠子瞪得快要掉出来,拿着图纸的手剧烈地颤抖着。
“我的老天爷……苏定平……你……你又从那个鬼地方……拿了什么神品出来?这……这是怎么想出来的?!”
“图纸世界没白钻!”
苏定平扯出一个疲惫却极度兴奋的笑容,眼里布满血丝,却亮得惊人,他没头没脑地蹦出一句。
“这都得感谢当初死磕仿星器的真空维持系统和等离子腔体内壁的抗复杂应力结构!
那些玩意儿逼出来的高极限要求!”
他猛地挥手,指向预研车间那台庞大的真空腔体。
“别愣着了!立刻动手!试!”
图纸迅速分发,整个车间再次如同注入强心剂,瞬间高速运转起来!龙心设计团队对图纸中几个关键控制回路提出了理论层面的优化建议。新的图纸连夜发送到了一体化军工厂。
这一次,有了前所未见的、极其详尽的工艺参数指导和极其清晰的结构分解图,军工厂的工程大师傅们像打了鸡血!尽管设备依旧是那些设备,但有了明确的指引方向,不再是无头苍蝇!
他们拿出了几十年车钳铆电焊摸爬滚打积累出的看家老底,结合图纸上匪夷所思的设计巧思。
超精密的研磨配合高精度手工配磨、独创的阶梯式超低温回火硬化工艺、非标改造的超声波微观探伤……
用最笨拙但也最可靠的方式,硬生生将图纸上的概念,变成了一套套锃光瓦亮、布满了细密金属光泽与特殊复合晶片镶嵌的精巧部件——那是全新的磁悬浮轴承核心模块!
同样按照图纸打造出来的、如同顶级瑞士精密手表内芯般复杂又充满机械美感的“多层异构梯度阻尼真空密封组”部件也被送抵实验室!
组装!测试!
这一次,所有人的心都提到了嗓子眼。
空气安静得能听到设备通电时低沉的嗡鸣和自己血液奔流的声音。
启动!
嗡——
供件平台和掩模平台在全新的、看不见磁场的无形“轨道”上轻盈地滑动起来。没有刺耳的摩擦噪音,只有一种极细微、几乎可以忽略的稳定蜂鸣。
“真空度。
10^{-7}Pa……稳定维持!泄漏信号……零!”
真空工程师的声音带着哭腔,却又充满狂喜。
屏幕上,供件台的位置曲线如同最驯服的野马,在预设的复杂轨迹上,以每秒超过3米的高速奔腾,划出流畅优美的曲线!旁边高精度的干涉仪实时跟踪反馈——动态位置偏差峰峰值。
1.9纳米!重复定位误差。
1.2纳米!
数据!
真实的数据!!!
碾压设计指标的数据!!!
远超ASML现有工作台水平的性能数据!!!
整个车间先是一片死寂。
紧随其后的,是山呼海啸般的、几乎要把顶棚掀翻的狂吼!
“成功了——!!!”
“他娘的!真成了!!!”
“神迹!”
袁涛眼眶通红,死死攥着拳头,指甲深深嵌进肉里也浑然不觉!
他一把狠狠抱住旁边的郭雪云,这个硬汉声音哽咽得说不出话。
“老郭……看见没!我说过!
他是神!
他是老天派来的神!”
郭雪云也流着泪,看着场中疲惫不堪却仿佛会发光的苏定平,用力地点着头。
这一次,不是轴承的胜利,是整个龙夏精工体系的涅槃!
苏定平看着欢呼沸腾的人群,看着屏幕上那条如同被尺子雕刻出来的平滑曲线,听着真空系统平稳低沉的嗡鸣。
巨大的成就感和疲惫如山般涌来,让他眼前阵阵发黑,只想找个地方倒头就睡。
但就在这时,一个略带迟疑的声音在稍稍平息的欢腾中响起。
“苏……苏总工……袁工……”
是一个负责控制逻辑模拟环节的年轻研究员。
“双工作台的硬件平台……看样子……是没问题了。可是……”
他停顿了一下,所有人的目光都聚焦过去,袁涛也皱起了眉。
“可是,要协调这么复杂、高精度的双台同步运动,超高速的数据传输、微振动实时抵消、热变形在线补偿……还有整个光刻步骤的时序配合……这……”
年轻研究员深吸一口气,抛出了此刻整个龙心实验室,乃至于整个龙夏部落科技界都极为陌生的、却无法回避的核心深渊。
“这背后需要一个极其复杂、代码量保守估计超过千万行、核心算法完全被ASM垄断的操作系统软件平台!
我……我们之前的研究,包括整个龙夏在复杂机电系统实时超精密控制算法和软件平台方面……是一片……巨大的空白区啊!”
他声音不大,却如同冰锥刺进了热烈的心脏。
“别说开发了,就算……就算现在把ASM的源代码白送给我们……又有谁能看懂?能在短时间内消化、修改、重构?更别说……从头开发?”